ENGIS化合物材料研磨机InP GaAs GaN
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产品详情
“ENGIS化合物材料研磨机InP GaAs GaN”参数说明
是否有现货: | 否 | 认证: | 有 |
品牌: | Engis | 自动化程度: | 半自动 |
是否加工定制: | 是 | 电流: | 直流 |
型号: | Ejw-400ifn-d | 规格: | 2寸3寸4寸 |
商标: | Engis | 包装: | 木质包装 |
2: | 4 |
“ENGIS化合物材料研磨机InP GaAs GaN”详细介绍
品牌:engis型号:
可用于2寸3寸4寸InP GaAs GaN
所属系列:半导体加工设备-减薄抛光设备-研磨机
操作界面人性化,人机交流非常简易
使用大粒径研磨液将Wafer快速减薄
可以精确控制Wafer目标厚度,将Wafer减薄至接近目标厚度时,借助厚度控制夹具Wafer将悬空丌再被研磨,可以双头、单片、多片加工,适合研发、量产,可兼容多尺寸Wafer
设备的设计理念及特征
搭载开槽装置的 精密研磨设备EJW-400IFN 是采用高刚性机体和独自开发的水冷式主
轴,经常保持一定的定盘温度,并且可以在 震动状态下高精度旋转。另外,由于采用
高精度的开槽装置,设备可以经常维持稳定高精度的定盘平坦度进行加工。
主要规格:
1-1研磨设备
设备型号EJW-400IFN
研磨盘直径外径φ380mm;内径φ140mm
定盘转速10~350rpm 可调(软起动/停机)
主电机200V 1.5Kw 3相
加压方式自重加压
工件固定方式通过使用陶瓷修正轮用滚轴手臂固定
主轴部分高刚性水冷主轴
尺寸940mm×1600mm×1460mmH*含防尘盖高度
重量1000Kg(NET)
可用于2寸3寸4寸InP GaAs GaN
所属系列:半导体加工设备-减薄抛光设备-研磨机
操作界面人性化,人机交流非常简易
使用大粒径研磨液将Wafer快速减薄
可以精确控制Wafer目标厚度,将Wafer减薄至接近目标厚度时,借助厚度控制夹具Wafer将悬空丌再被研磨,可以双头、单片、多片加工,适合研发、量产,可兼容多尺寸Wafer
设备的设计理念及特征
搭载开槽装置的 精密研磨设备EJW-400IFN 是采用高刚性机体和独自开发的水冷式主
轴,经常保持一定的定盘温度,并且可以在 震动状态下高精度旋转。另外,由于采用
高精度的开槽装置,设备可以经常维持稳定高精度的定盘平坦度进行加工。
主要规格:
1-1研磨设备
设备型号EJW-400IFN
研磨盘直径外径φ380mm;内径φ140mm
定盘转速10~350rpm 可调(软起动/停机)
主电机200V 1.5Kw 3相
加压方式自重加压
工件固定方式通过使用陶瓷修正轮用滚轴手臂固定
主轴部分高刚性水冷主轴
尺寸940mm×1600mm×1460mmH*含防尘盖高度
重量1000Kg(NET)
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