产品详情
“电源维修 AE射频电源 RFG2000-2V”参数说明
是否有现货: | 是 | 品牌: | 无 |
加工定制: | 否 | 尺寸: | 125*178*381mm |
电池种类: | 无 | 电源电压: | 208V |
用途: | 半导体,光伏,面板,工业玻璃镀膜 | 型号: | Rfg2000-2V |
规格: | 13.56MHz | 包装: | 纸箱,塑料防爆箱 |
功率: | 2000W | 频率: | 13.56MHz |
“电源维修 AE射频电源 RFG2000-2V”详细介绍
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基本介绍
(产品的基本描述,如定义、功能等)
电源维修 AE射频电源 RFG2000-2V具有良好的成膜能力,能够快速成膜,被广泛的应用在半导体制程的薄膜工艺中,CVD、PVD、PECVD、溅射、蚀刻均有应用。
MN 3155053-007
技术参数
(例如材质、工艺、尺寸的技术标准等)
AC 电源输入:3 phase~ ,208V~,50/60Hz,20A
RF 射频输出:3000W,13.56MHz
设备散热:水冷散热
水冷进水需求:MAX进水水压6.9 Bars/69kPa
使用说明
(例如使用场所、工作原理、产品结构、安全操作说明等)
适用于半导体FAB,光伏产线,面板产线,工业玻璃镀膜
采购须知
(例如发货时间、运输方式、售后服务事项等)
发货时间:1个月
运输方式:专属物流1对1服务,上门收发件
质保:提供6个月质保
包装:
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